更新時(shí)間:2026-04-02
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EV-PA500 是日本荏原制作所(EBARA)推出的一款超小型、輕量型空冷式干式真空泵,專為實(shí)驗(yàn)室、分析儀器及輕型工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)
抽氣速度:500 L/min (18 cfm);氣鎮(zhèn)開啟時(shí):430 L/min
極限真空:0.5 Pa (氣鎮(zhèn)開啟時(shí):2.0 Pa)
冷卻方式:空冷(無需冷卻水)
電源:單相 100–240 VAC, 50/60 Hz
功耗:0.27 kW(極限真空下)
重量:21 kg
尺寸 (W×L×H):189 × 482 × 272 mm
噪音:58 dB(A)
進(jìn)氣 / 排氣口:NW25 快裝接口
無油潔凈真空:采用多級羅茨(Roots)非接觸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),無油,避免污染,適合對清潔度要求高的場景。
免維護(hù)設(shè)計(jì):無密封件磨損,無需年度保養(yǎng),大幅降低使用成本。
便攜節(jié)能:體積小、重量輕,支持移動使用;超低功耗(<300W)。
低噪低震:運(yùn)行安靜平穩(wěn)(58 dB),適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
寬電壓適配:通用電壓(100-240V),即插即用。
分析儀器:電子顯微鏡(SEM/TEM)、質(zhì)譜儀(MS)、表面分析儀、殘余氣體分析儀(RGA)
半導(dǎo)體 / 科研:小型負(fù)載鎖(Load Lock)、真空手套箱、真空傳輸系統(tǒng)
工業(yè) / 檢測:檢漏設(shè)備、真空吸附、小型鍍膜、真空脫氣
移動作業(yè):便攜式真空系統(tǒng)、野外 / 現(xiàn)場測試設(shè)備
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